Моделирование чувствительного элемента МЭМС датчика давления, работающего на тепловом принципе детектирования ГД Демин, НА Дюжев, ММ Поздняков, ИД Евсиков, ГИ Орешкин | | 2021 |
Membrane MEMS-based Thermal Pressure Sensor for Measuring the Sub-atmospheric Pressure Range ММ Поздняков, ИД Евсиков, ГД Демин, ГИ Орешкин, НА Дюжев, ... Наноиндустрия 14 (S7), 554-556, 2021 | | 2021 |
Investigating Metrological Properties of an Integral Thermal Conductivity Detector Under Conditions of Capillary Gas Chromatography ВИ Платонов, ИА Платонов, ММ Поздняков, МЮ Чиненков, НА Дюжев Наноиндустрия 14 (S7), 504-505, 2021 | | 2021 |
Тепловой МЭМС-сенсор потока для компактного газового хроматографа МЮ Чиненков, НА Дюжев, ГД Демин, ВТ Рябов, ММ Поздняков, ... Наноиндустрия 13 (S4), 470-471, 2020 | | 2020 |
Тепловой МЭМС-датчик для измерения субатмосферного диапазона давлений ВЕ ДЕНИСОВ, ГИ ОРЕШКИН, ММ ПОЗДНЯКОВ, ИД ЕВСИКОВ, ... Наноиндустрия 13 (S5-2), 625-628, 2020 | | 2020 |
ТЕПЛОВОЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ МА Махиборода, ГИ Орешкин, ММ Поздняков | | |