Follow
Иван Алексеевич Азаров
Иван Алексеевич Азаров
Инженер ИФП СО РАН, м.н.с. НГУ
Verified email at nsu.ru
Title
Cited by
Cited by
Year
Поляризационная пирометрия слоистых полупроводниковых структур в условиях низкотемпературных технологических процессов
ИА Азаров, ВА Швец, СА Дулин, НН Михайлов, СА Дворецкий, ...
Автометрия 53 (6), 111-120, 2017
72017
Методические и приборные проблемы высокоточной эллипсометрической in situ диагностики состава слоев кадмий–ртуть–теллур в технологии молекулярно-лучевой эпитаксии
ВА Швец, ИА Азаров, ЕВ Спесивцев, СВ Рыхлицкий, МВ Якушев, ...
Приборы и техника эксперимента, 87-94, 2016
72016
Параметрическая модель спектров оптических постоянных HgCdTe и определение состава соединения
ВА Швец, ДВ Марин, ВГ Ремесник, ИА Азаров, МВ Якушев, ...
Оптика и спектроскопия 128 (12), 1815-1820, 2020
62020
Эллипсометрический метод измерения температуры буферных слоев CdTe в технологии молекулярно-лучевой эпитаксии CdHgTe
ВА Швец, ИА Азаров, ДВ Марин, МВ Якушев, СВ Рыхлицкий
Физика и техника полупроводников 53 (1), 137-142, 2019
62019
О структуре тонких пленок монооксида германия
КН Астанкова, ВА Володин, ИА Азаров
Физика и техника полупроводников 54 (12), 1296-1301, 2020
52020
Эллипсометр терагерцового диапазона
ИА Азаров, ВА Швец, ВЮ Прокопьев, СА Дулин, СВ Рыхлицкий, ...
Приборы и техника эксперимента, 71-78, 2015
22015
Учредители: Сибирское отделение РАН, Институт автоматики и электрометрии СО РАН
КВ ЧИЖ, ЛВ АРАПКИНА, ВП ДУБКОВ, ДБ СТАВРОВСКИЙ, ВА ЮРЬЕВ, ...
Автометрия 58 (6), 79-89, 2022
12022
In situ эллипсометрический мониторинг состава и температуры слоeв HgCdTe в процессе их роста
ВА Швец, ДВ Марин, ИА Азаров, МВ Якушев, СВ Рыхлицкий
Физика и техника полупроводников 55 (12), 1240-1247, 2021
12021
Эллипсометрия в терагерцовом диапазоне с помощью лазера на свободных электронах
ИА Азаров, ВА Швец, ВЮ Прокопьев, СА Дулин, ЮЮ Чопорова, ...
ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СИНХРОТРОННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, 85-85, 2012
12012
Контроль состава гетероэпитаксиальных слоев Cd1− zZnzTe методом спектральной эллипсометрии
МВ Якушев, ВА Швец, ИА Азаров, СВ Рыхлицкий, ЮГ Сидоров, ...
Физика и техника полупроводников 44 (1), 62-68, 2010
12010
База данных оптических констант материалов для спектральной эллипсометрии
ИА Азаров
2023
ГЛАВА 3. ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ ТЕМПЕРАТУРЫ В ПРОЦЕССАХ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ HgCdTe
ВА Швец, ДВ Марин, ИА Азаров, МВ Якушев, СВ Рыхлицкий
Квантовые структуры для посткремниевой электроники, 26-38, 2023
2023
Выращивание слоёв VOх при эллипсометрическом in situ контроле и характеризация их оптических свойств
ВА Швец, ИА Азаров, ВШ Алиев, СГ Бортников, ЕВ Спесивцев
2023
Микрорельеф поверхности как критерий качества буферных слоёв CdTe
ВА Швец, ДВ Марин, ЛС Кузнецова, ИА Азаров, МВ Якушев, ...
2023
Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в …
ВА Володин, ВА Гриценко, ГН Камаев, СГ Черкова, ИА Азаров, ...
Комбинационное рассеяние-95 лет исследований, 64-64, 2023
2023
МЕХАНИЗМ ПОПЕРЕЧНОГО ТРАНСПОРТА ЗАРЯДА В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА
ДР Исламов, ТВ Перевалов, АА Гисматулин, ИА Азаров, ...
ЖУРНАЛ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ И ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ 163 (3), 392-400, 2023
2023
Программа расчёта поляризационных свойств слоистых отражающих структур и моделирования спектров эллипсометрии
ИА Азаров
2022
Аналитический и технологический исследовательский центр «Высокие технологии и наноструктурированные материалы» ФФ НГУ: история, становление и достигнутые результаты
ПВ Гейдт, АВ Аржанников, АЛ Асеев, АА Шкляев, ВА Володин, ...
Сибирский физический журнал 17 (3), 66-88, 2022
2022
Программа для моделирования спектров пропускания и отражения слоистых структур на толстой подложке с учётом интерференции в слоях
ДА Егоров, ИА Азаров, ВА Володин
2022
OPTICAL PROPERTIES OF SPUTTERED THIN ZINC SULFIDE FILMS IN THE MIDINFRARED AND THZ RANGE
ВВ Герасимов, ВД Кукотенко, АГ Лемзяков, ИА Азаров, АН Назар
Synchrotron and Free electron laser Radiation: generation and application …, 2022
2022
The system can't perform the operation now. Try again later.
Articles 1–20