Поляризационная пирометрия слоистых полупроводниковых структур в условиях низкотемпературных технологических процессов ИА Азаров, ВА Швец, СА Дулин, НН Михайлов, СА Дворецкий, ... Автометрия 53 (6), 111-120, 2017 | 7 | 2017 |
Методические и приборные проблемы высокоточной эллипсометрической in situ диагностики состава слоев кадмий–ртуть–теллур в технологии молекулярно-лучевой эпитаксии ВА Швец, ИА Азаров, ЕВ Спесивцев, СВ Рыхлицкий, МВ Якушев, ... Приборы и техника эксперимента, 87-94, 2016 | 7 | 2016 |
Параметрическая модель спектров оптических постоянных HgCdTe и определение состава соединения ВА Швец, ДВ Марин, ВГ Ремесник, ИА Азаров, МВ Якушев, ... Оптика и спектроскопия 128 (12), 1815-1820, 2020 | 6 | 2020 |
Эллипсометрический метод измерения температуры буферных слоев CdTe в технологии молекулярно-лучевой эпитаксии CdHgTe ВА Швец, ИА Азаров, ДВ Марин, МВ Якушев, СВ Рыхлицкий Физика и техника полупроводников 53 (1), 137-142, 2019 | 6 | 2019 |
О структуре тонких пленок монооксида германия КН Астанкова, ВА Володин, ИА Азаров Физика и техника полупроводников 54 (12), 1296-1301, 2020 | 5 | 2020 |
Эллипсометр терагерцового диапазона ИА Азаров, ВА Швец, ВЮ Прокопьев, СА Дулин, СВ Рыхлицкий, ... Приборы и техника эксперимента, 71-78, 2015 | 2 | 2015 |
Учредители: Сибирское отделение РАН, Институт автоматики и электрометрии СО РАН КВ ЧИЖ, ЛВ АРАПКИНА, ВП ДУБКОВ, ДБ СТАВРОВСКИЙ, ВА ЮРЬЕВ, ... Автометрия 58 (6), 79-89, 2022 | 1 | 2022 |
In situ эллипсометрический мониторинг состава и температуры слоeв HgCdTe в процессе их роста ВА Швец, ДВ Марин, ИА Азаров, МВ Якушев, СВ Рыхлицкий Физика и техника полупроводников 55 (12), 1240-1247, 2021 | 1 | 2021 |
Эллипсометрия в терагерцовом диапазоне с помощью лазера на свободных электронах ИА Азаров, ВА Швец, ВЮ Прокопьев, СА Дулин, ЮЮ Чопорова, ... ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СИНХРОТРОННОГО ИЗЛУЧЕНИЯ, 85-85, 2012 | 1 | 2012 |
Контроль состава гетероэпитаксиальных слоев Cd1− zZnzTe методом спектральной эллипсометрии МВ Якушев, ВА Швец, ИА Азаров, СВ Рыхлицкий, ЮГ Сидоров, ... Физика и техника полупроводников 44 (1), 62-68, 2010 | 1 | 2010 |
База данных оптических констант материалов для спектральной эллипсометрии ИА Азаров | | 2023 |
ГЛАВА 3. ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКИЙ КОНТРОЛЬ ТЕМПЕРАТУРЫ В ПРОЦЕССАХ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ HgCdTe ВА Швец, ДВ Марин, ИА Азаров, МВ Якушев, СВ Рыхлицкий Квантовые структуры для посткремниевой электроники, 26-38, 2023 | | 2023 |
Выращивание слоёв VOх при эллипсометрическом in situ контроле и характеризация их оптических свойств ВА Швец, ИА Азаров, ВШ Алиев, СГ Бортников, ЕВ Спесивцев | | 2023 |
Микрорельеф поверхности как критерий качества буферных слоёв CdTe ВА Швец, ДВ Марин, ЛС Кузнецова, ИА Азаров, МВ Якушев, ... | | 2023 |
Применение комбинационного рассеяния света для анализа нанокластеров аморфного кремния в плёнках нестехиометрического нитрида кремния, применяющихся в элементах флэш-памяти и в … ВА Володин, ВА Гриценко, ГН Камаев, СГ Черкова, ИА Азаров, ... Комбинационное рассеяние-95 лет исследований, 64-64, 2023 | | 2023 |
МЕХАНИЗМ ПОПЕРЕЧНОГО ТРАНСПОРТА ЗАРЯДА В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА ДР Исламов, ТВ Перевалов, АА Гисматулин, ИА Азаров, ... ЖУРНАЛ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ И ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ 163 (3), 392-400, 2023 | | 2023 |
Программа расчёта поляризационных свойств слоистых отражающих структур и моделирования спектров эллипсометрии ИА Азаров | | 2022 |
Аналитический и технологический исследовательский центр «Высокие технологии и наноструктурированные материалы» ФФ НГУ: история, становление и достигнутые результаты ПВ Гейдт, АВ Аржанников, АЛ Асеев, АА Шкляев, ВА Володин, ... Сибирский физический журнал 17 (3), 66-88, 2022 | | 2022 |
Программа для моделирования спектров пропускания и отражения слоистых структур на толстой подложке с учётом интерференции в слоях ДА Егоров, ИА Азаров, ВА Володин | | 2022 |
OPTICAL PROPERTIES OF SPUTTERED THIN ZINC SULFIDE FILMS IN THE MIDINFRARED AND THZ RANGE ВВ Герасимов, ВД Кукотенко, АГ Лемзяков, ИА Азаров, АН Назар Synchrotron and Free electron laser Radiation: generation and application …, 2022 | | 2022 |